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CIF 实验室型等离子清洗机

CIF推出的新一代科研型等离子清洗设备,合理的结构设计,优化的腔体尺寸,使得处理样品更大,适用范围更广。产品性能稳定,操作简单方便,易维护  

产品特点

7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20个配方程序,工艺数据可存储追溯。

PLC控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM),可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体控制精准。

气体返填吹扫,HEPA高效过滤,防止二次污染。

316不锈钢、石英真空可选择,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

采用60度倾角操作面板设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。

上控制下舱体结构设计,结构紧凑,占地空间小。

内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门不易损坏。

处理快速高效均匀,无污染,工艺重复性好。

样品处理温度热损伤和热氧化

u 安全保护,舱门打开,自动关闭电源

技术参数

型号

CPC-E

CPC-Eplus

CPC-F

CPC-Fplus

CPC-FM

CPC-FMplus

射频电源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射频功率

10-300W

10-150W

10-600W

10-150W

10-600W

10-150W

匹配器

动匹配

动匹配

自动匹配器

激发方式

电容式或电感耦合(ICP)

电容式或电感耦合(ICP)

电容式或电感耦合(ICP)

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