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CIF推出的新一代科研型等离子清洗设备,合理的结构设计,优化的腔体尺寸,使得处理样品更大,适用范围更广。产品性能稳定,操作简单方便,易维护。
产品特点
u 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20个配方程序,工艺数据可存储追溯。
u PLC控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
u 采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM),可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体控制精准。
u 气体返填吹扫,HEPA高效过滤,防止二次污染。
u 316不锈钢、石英真空舱可选择,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
u 采用60度倾角操作面板设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。
u 上控制下舱体结构设计,结构紧凑,占地空间小。
u 内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门不易损坏。
u 处理快速高效均匀,无污染,工艺重复性好。
u 样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
u 安全保护,舱门打开,自动关闭电源。
技术参数
型号 | CPC-E | CPC-Eplus | CPC-F | CPC-Fplus | CPC-FM | CPC-FMplus | ||
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | ||
射频功率 | 10-300W | 10-150W | 10-600W | 10-150W | 10-600W | 10-150W | ||
匹配器 | 自动匹配器 | 自动匹配器 | 自动匹配器 | |||||
激发方式 | 电容式或电感耦合(ICP) | 电容式或电感耦合(ICP) | 电容式或电感耦合(ICP) |
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