CIF紫外臭氧清洗机

紫外臭氧清洗机（UVO），是一种简单，经济，快速高效的材料表面清洗设备，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物。CIF推出的紫外臭氧清洗机系列产品采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯，样品台高度可调，可选加热控温，以便达到最佳清洗效果。
产品特点
u UVO基础型系列采用可编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制。UVOP、UVOT系列采用5寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，设置显示计时时间及加热温度。
u 自动补偿功能，自动恒定光强光密度，不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
u 数字倒计时显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
u 任何时间可以手动中断处理过程。
u 自动记录之前清洗参数设置。
u 样品台可控温（可选），控温范围RT-200℃，控温精度0.1℃。
u 顶置下压式铰链开关盖方式，操作简单方便。
u 上置式样品台设计，360度自由放置样品，操作方便。
u 样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，并可锁定。
u UV石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为8000小时。
u 高强度UV灯源，波长185nm和254nm。
u 可累计计时UV格栅灯使用时长，更换提示。
u UV反射罩（长X宽）比UV格栅灯大25mm。
u 双重安全保护，带有安全锁，当清洗腔打开时，系统自动关掉UV灯，并有灯光通断提示。
u 带进&出气口双气路设计。
u 可接入氧气或者臭氧，增加臭氧产量。
u UVO5可选外置臭氧中和器，UVO9、UVO13系列可选外置或者内置臭氧中和器，用于臭氧清除。
u 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
技术参数
产品型号
UVO5/UVO5P/UVO5T
UVO9/UVO9P/UVO9T
UVO13/UVO13P/UVO13T
UV灯尺寸
130x130mm
230x230mm
330x330mm
样品台高度
0-50mm可调
0-50mm可调
0-50mm可调
电   源
AC220V 50/60Hz 140/190/690W
AC220V 50/60Hz 140/190/690W
AC220V 50/60Hz  140/190/1160W
外型尺寸
L260xW320xH200mm
L370xW470xH200mm
L465xW575xH200mm
包装尺寸
L375xW470xH390mm
L490xW600xH320mm
L575xW680xH320mm
整机重量
8kg
15kg
18kg